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予想される不具合
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原因
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対策
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| 流体の取扱いに係わるもの | 詰まり、堆積 | ・残留ゴミや薬品の不着、堆積 | ・フィルタ等の清掃、交換 |
| 化学薬品、空気、蒸気、水の漏えい | ・腐食 ・ボルトの緩み等 |
・原料の変更や部品交換、調整 |
| 化学薬品の取扱いに係わるもの | 化学薬品による設備故障 | ・漏えい等 | ・材料の変更や部品交換、調整 |
| 化学薬品による人身災害 | ・漏えい等 | ・材料の変更や作業環境の改善 ・部品交換、調整 |
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| 化学薬品による火災 | ・漏えい ・温度制御不良等 |
・材料の変更や部品交換、調整 |
| 機械動作に係わるもの | 弁や回転機器等の動作不良 | ・部品の破損 ・磨耗 ・固着等 |
・部品交換、調整 |
| 計測、制御に係わるもの | 圧力、流量、濃度、温度、液位、真空度の異常 | ・プログラム不良 ・制御装置不良 ・設定値や機器設置位置の不良 |
・部品交換、調整 |
| 計測不良 | ・検出器故障等 | ・部品交換、調整 |
| その他機器に係わるもの | 電源異常 | ・断線等 | ・部品交換、調整 |
